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超大型精密仪器及系统隔微振技术与装置

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目依据我国大型高端/尖端超精密装备制造领域对隔微振技术及装置的迫切需求，特别针对大型高端/尖端超精密装备制造领域对环境振动减弱或隔离的迫切需求，突破大承载与低固有频率兼顾、主动负刚度与主动阻尼结合等核心关键技术，研制用于我国大型高端/尖端超精密加工及制造装备、超精密测量装备的“超大型精密仪器与系统隔微振装置”，解决我国大型高端/尖端超精密装备加工、装配、测试和使用过程中亟待解决的环境振...
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